氣體泄漏測試GRYLLS熱式質量流量控制器

熱(re)式氣體流量控(kong)制器(qi) 采用毛細管傳熱前后溫度差量熱法原理測量氣體的質量流量,不受溫度壓力的影響。將傳感器測得的流量信號進行放大,然后與設定的電壓進行比較,用所得的差值去驅動控制調節閥門,閉環控制流過通道的流量使之與設定的流量相等。

氣體泄(xie)漏測(ce)試GRYLLS熱式質量流量控制(zhi)器

熱式氣體流量控制器 產品(pin)應用:

玻璃(li)行業、太陽能、大(da)氣監測、工業制作、石油石化、煤炭(tan)冶金、制氣配氣、環保、各(ge)種儀器分(fen)析

格里(li)爾斯GRYLLS5950系列(lie)

模擬式(shi)質量(liang)流量(liang)計/控制器(低量(liang)程)技(ji)術參(can)數:

GRYLLS5950系(xi)列-MFC 質量流量控制器

GRYLLS5950系列-MF 質量流量計

模擬式質(zhi)量(liang)流量(liang)計量(liang)程范圍5SCCM ~ 30SLM

準確度(du)(du)±1.0%F.S     溫(wen)度(du)(du):±1℃    線性±0.5%F.S     重復精度(du)(du)±0.2%F.S

響應時(shi)間<2s<1.5s    ;模擬量0 ~ 5V、4 ~ 20mA    供(gong)電±15VDC,24VDC

工(gong)作溫(wen)度0 ~ 50℃

工(gong)作壓(ya)力工(gong)作壓(ya)差(cha):0.05 ~ 0.5MPa工(gong)作壓(ya)降(jiang):<30Kpa      *耐壓(ya)3MPa/10MPa

電(dian)氣連接DB15 孔(kong)

漏率1×10-9SCCSHe

溫度系數±0.015%F.S/℃

底座(zuo)材質316L

密封(feng)材質氟(fu)橡膠(jiao)(jiao),氯丁橡膠(jiao)(jiao),丁腈橡膠(jiao)(jiao)

接頭φ3,φ6,1/8",1/4"